离子溅射技术是一种利用高能离子轰击目标材料表面,使其产生剥离原子和离子的方法,通过对溅射产物的控制可形成多种形态和纳米结构。它是将离子溅射的实验室技术以较小的尺寸转化为设备,其特点和应用也相对特殊。
1、紧凑的体积:相较于其他离子溅射仪,它的体积十分紧凑,便于操作和控制。在常规实验室中也能轻松放置。
2、简单的结构:结构相对简单,便于维护和维修。在使用过程中,也不需要专业的技工。
3、高精密度:外观小巧,其产物研究确是高精密度。对于研究精细结构、模型的小尺寸对象,能提供较高的实验效果。
4、高效性:由于内部结构相对简单,操作效率高,且能快速高效地研究样品产物。
小型离子溅射仪的应用:
1、非晶材料制备:非晶材料广泛应用于电子、导电、硬度等领域,因其结构紧密、精度高,可制备出无定形固体,铁、镍、铬、钼等元素的非晶材料。
2、薄膜制备:可制备的薄膜,具有无需基底的特点,不容易剥离,表面平整度高,液晶、太阳能电池等领域均有应用。
3、纳米颗粒制备:材料之间的原子与分子之间发生混合反应,形成了具有不同特征的纳米颗粒。应用上,纳米颗粒广泛用于催化剂、气敏材料、生物医药等领域。
4、表面改性:可以对金属、陶瓷等材料表面进行改性反应。通过对表面进行改性,材料的硬度、抗腐蚀能力、耐磨损性等物理性质得到了提高,从而推动了航空、造船等领域的应用。
总之,小型离子溅射仪均有着紧凑、精密、高效的特点,广泛应用于纳米材料、薄膜、功能材料等领域。随着科技的不断进步,离子溅射技术在越来越多的行业中,发挥着重要的作用。