喷金仪-百科知识

　　喷金仪是在封闭腔室中，放置阳极靶材，充入气体，保持一定的真空度，在阳极和阴极之间加载高压，会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散，并在样品上沉积，最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电，减小热损伤，提高二次电子产率，从而改善扫描电镜观察效果。
 
　　喷金仪的功能特点：
 
　　1、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
 
　　2、操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
 
　　3、可用MTM-10高分辨膜厚控制仪(选件)精确测定所镀膜的厚度。
 
　　4、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
 
　　5、可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd(Au靶为标配)，靶材更换快速方便。
 
　　喷金仪选择合适的气体以及靶材，就可以用来为扫描电镜的样品镀层。对样品表面溅射金属镀层有以下好处：
 
　　(1)减少电子束对样品的损伤。
 
　　(2)提高导热性能。
 
　　(3)减少样品荷电(提高导电性)。
 
　　(4)提高二次电子产率。
 
　　(5)减小电子束穿透效应，提高边缘分辨率。
 
　　(6)保护电子束敏感样品。
 
　　然而，为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层，有时候也会使用其他靶材(比如铬)。这些靶材对真空度的要求更高，需要额外配置分子泵方可达到要求。