桌面显影机优势
1.全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。
2.外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。
3.内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。
4.内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。
5.真空压力可调,压力值实时显示。
6.液体流量可调,回吸可调。
桌面显影机参数
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)
1.转速分辨率:±1 RPM
2.旋涂速度:20-3000rpm(空载)
3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)
4.工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec
5.该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)
6.单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序
7.可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。
桌面显影机是一种用于制作电路板和印刷电路板的设备。它通过将光敏材料涂覆在基板上,再利用紫外线曝光和化学显影的过程来形成图案和电路追踪。这种设备通常较小且易于操作,适用于小批量生产和研发实验室。桌面显影机可以帮助制造商和电子工程师快速制作样品和原型,并提供高精度和可重复性的输出结果。